Ionengetterpumpe

Die Ionen-Getterpumpe: Vakuum durch Chemie.

Funktionsweise In Getterpumpen sind keine beweglichen, mechanischen Teile zu finden. Die Gasmoleküle werden vielmehr im Innern der Pumpe am so genannten Gettermaterial chemisch gebunden. Dazu wird das Gas ionisiert, d.h. elektrisch aufgeladen und dann mit Hilfe einer Hochspannung auf das Gettermaterial (zum Beispiel Titan) beschleunigt. Dabei wird die Oberfläche durch die auftreffenden Ionen zerstäubt. Das frei gewordene Titan bindet die Gasmoleküle chemisch an sich und setzt sich wieder an den Innenwänden der Pumpe ab. Dies funktioniert allerdings nicht mit Edelgasen, da diese chemisch äußerst träge reagieren. Dennoch werden auch diese in der Pumpe gebunden; nicht chemisch, sondern indem sie einfach so tief in die Titanwände geschossen werden, dass sie dort gefangen bleiben.